Experiment Apparatus實驗室與設備

實驗室名稱 : 半導體製程實驗室
指導教授 : 粘永堂
協同教授 : 方昭訓
研究方向:

近年來,由於高科技產業的蓬勃發展,材料製程及分析的人才需求甚殷。為因應半導體產業之人才訓練需求而成立此半導體製程實驗室。
此實驗室提供半導體製程實驗教學及半導體製程研究使用。

重點設備 :  
電極蒸鍍系統
快速退火系統
快速退火系統
排氣櫃
內循環藥品櫃
真空腔體
IV曲線量測設備
霍爾量測設備
四點探針量測設備
電解鎢針量測設備
粗度量測設備